UPT2XX系列超純壓力傳感器采用半導(dǎo)體專用超純不銹鋼材料、干式全固態(tài)結(jié)構(gòu)制造的傳感器,以確保滿足所需的超純、無油特性。適用于半導(dǎo)體、光伏、液晶面板制造設(shè)備的超純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)的壓力測量。
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